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GB/T 10067.6-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第6部分：工业微波加热装置 GB/T 10067.101-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第101部分：真空电热和电磁处理装置的通用要求 GB/T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置。
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